Prozessentwicklung, MtM-Module

Die Prozess- und Bauelementeentwicklung für neue „More-than-Moore“-Technologien erfolgt auf Basis einer 200-mm-Si-Technologieplattform. Die Prozessentwicklungen aus verschiedenen Bereichen (z. B. CVD, ALD, Ätzen, Diffusion etc.) werden für neuartige Bauelementekonzepte eingesetzt, die eine hohe Kompatibilität zur CMOS-Technologie aufweisen, wie z. B. SiGe und Ge für Hochfrequenz- und photonische Anwendungen. Auch neue Forschungsfelder, wie neuromorphes Computing auf Basis vollintegrierter memrestiver Zellen oder epitaktisch modifizierte Substrate für Quantentechnologien, werden innerhalb dieses Kompetenzfeldes untersucht. Zudem sind Ansätze für die Integration neuer Materialien zur funktionalen Erweiterung von Si-Technologien ein weiterer Schwerpunkt der Forschungsarbeiten.

Forschungsthemen

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