Materialanalyse und Messtechnik

Die Gruppe Materialanalyse und Messtechnik unterstützt die Forschungsaktivitäten am IHP durch ein breites Portfolio an Analysewerkzeugen und -techniken. Unsere analytischen Fähigkeiten werden in folgenden Bereichen eingesetzt:

  • Visualisierung der Oberflächen- und Querschnittsmorphologie von IC's
  • Kontaminationsanalyse der Si-Wafer (Quantifizierung und mapping)
  • Tiefenprofilanalyse von Dotierstoffen (Quantifizierung und Profilform)
  • Dicken- und Stöchiometriemessungen von dünnen Schichten
  • Dehnungs- und Kristallinitätsanalyse der Epitaxieschicht
  • Oberflächenanalyse von organischen Verunreinigungen
  • Fehleranalyse von IC's
  • Schaltungsmodifikation

Übersicht über die Analysemethoden »

Dr. rer. nat. Ioan Costina

IHP
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
Germany

Phone: +49 335 5625 370
Send e-mail »

Die Website ist für moderne Browser konzipiert. Bitte verwenden Sie einen aktuellen Browser.