Die Gruppe Materialanalyse und Messtechnik unterstützt die Forschungsaktivitäten am IHP durch ein breites Portfolio an Analysewerkzeugen und -techniken. Unsere analytischen Fähigkeiten werden in folgenden Bereichen eingesetzt:
- Visualisierung der Oberflächen- und Querschnittsmorphologie von IC's
- Kontaminationsanalyse der Si-Wafer (Quantifizierung und mapping)
- Tiefenprofilanalyse von Dotierstoffen (Quantifizierung und Profilform)
- Dicken- und Stöchiometriemessungen von dünnen Schichten
- Dehnungs- und Kristallinitätsanalyse der Epitaxieschicht
- Oberflächenanalyse von organischen Verunreinigungen
- Fehleranalyse von IC's
- Schaltungsmodifikation
