Technologien für smarte Systeme

Die Technologieforschung für smarte Systeme konzentriert sich konsequent auf eine "More than Moore"-Strategie auf Basis der 200-mm-Si-Plattform des IHP. Schwerpunkte der Arbeiten sind damit nicht Aufgaben für skalierte CMOS-Technologien, sondern die Erforschung und Entwicklung von Technologiemodulen, die CMOS-Technologien in der Funktionalität deutlich erweitern.

Die Technologieforschung am IHP konzentriert sich auf die Entwicklung und Erweiterung hochleistungsfähiger SiGe-BiCMOS-Technologien. Mit den Arbeiten werden Technologieinnovationen für smarte Systeme entwickelt und bilden damit einen wichtigen Grundstein für die strategischen Schwerpunkte Technologien für Gesundheit & Umwelt, Drahtlose- & Breitbandkommunikation und Technologien für resiliente Systeme des IHP. Hierzu werden verschiedene Integrationstechniken zur Herstellung von smarten Systemen genutzt. Die Entwicklungen für die drahtlose und Breitbandkommunikation auf Basis von siliziumbasierten elektrischen und optoelektrischen Hochfrequenztechnologien, werden zunehmend durch neue Arbeiten für sensorische Anwendungen (z. B. photonische Sensoren) für Gesundheits- und Umweltanalysen oder die Integration memristiver Zellen für Anwendungen im Bereich Künstlicher Intelligenz ergänzt. Das Forschungsprogramm verfolgt dabei verschiedene Schwerpunkte, wie die Entwicklung von neuartigen Prozessen, Bauelementen und Modulen sowie deren Integration in komplexe Basistechnologien, z. B. im Bereich Siliziumphotonik. Hinzu kommt die Anwendung von neuartigen Heterointegrationstechniken, wie Waferbonding oder Chiplettransfer. Die Stabilisierung und Überführung der Technologien in den IHP-Forschungsservice ist weiterhin ein zentrales Ziel und Alleinstellungsmerkmal des IHP. Der Forschungsservice des IHP (R & D Service) besteht zum einen aus dem IHP-Multi-Projekt-Wafer-Programm. Hier können neue Technologieentwicklungen in kurzer Zeit Partnern für die Forschung und Prototypenfertigung zur Verfügung gestellt werden. Hinzu kommen Modul- und Teilschrittentwicklungen für 200-mm-basierte Prozesse, die innerhalb des Forschungsservice angeboten werden. 

Neue Prozessmöglichkeiten sowie zahlreiche Kooperationen durch die Mitwirkung des IHP und insbesondere des Forschungsprogramms Technologien für smarte Systeme in der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) erweitert das zukünftige Portfolio des IHP in der Forschungsinfrastruktur für neue Prozess- und Technologieentwicklungen.

Prof. Dr. rer. nat. Andreas Mai

IHP 
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
Deutschland
 
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