Das Ziel der Abteilung Technology ist die Entwicklung von Bauelementen, Modulen und Technologien mit spezifischen Eigenschaften für Anwendungen in der Kommunikation, Hochfrequenzelektronik, Sensorik und neuartigen Bereichen, wie Künstlicher Intelligenz und Quantentechnologien. Der interne Transfer dieser Entwicklungen hin zur Fertigung in der eigenen Pilotlinie für IHP-Projekte und für den weltweiten MPW- und Prototyping-Service ist ein weiterer Schwerpunkt.
Die Forschung und Entwicklung besteht aus zwei wesentlichen Bereichen. Zum einen ist das die Erforschung und Entwicklung neuer Bauelemente, Module und Technologieplattformen, die kompatibel zu einer siliziumbasierten Prozessumgebung sind. Der zweite Bereich konzentriert sich auf den Transfer, die Optimierung, Stabilisierung und Leistungssteigerung existierender IHP-Technologien. Ziel ist, ausgewählte Module und Technologien zeitnah im IHP-Forschungsservice einer breiten akademischen Öffentlichkeit sowie Industriepartnern zur Verfügung zu stellen. Schwerpunkt der Arbeiten sind die Erforschung und Entwicklung von Technologiemodulen und Integrationskonzepten, die CMOS-Technologien in der Funktionalität deutlich erweitern können.
Die strategischen Forschungsthemen sind Technologien mit SiGe-basierten THz-Bauelementen, Si/Ge-Photonikmodulen, Bauelemente für strahlungsresistente Anwendungen und neuartige Integrationskonzepte, z. B. für Hochfrequenzsysteme. Dabei verfolgt die Abteilung sowohl monolithische als auch heterogene Integrationsansätze. Diese Ansätze ermöglichen die Kombination von Elektronik mit der Funktionalität der integrierten Module auf einem Chip. Anwendungen für derartige Technologien liegen insbesondere in der Drahtlos- und Breitband- und optischen Kommunikation, in der Sensorik und in neuen Anwendungsfeldern, wie Künstlicher Intelligenz.
Erhebliche Anstrengungen werden unternommen, um den MPW- und Prototyping-Service auf Basis der 0,25-µm- bzw. 0,13-µm-Technologien zu qualifizieren, zu erweitern und weltweit Partnern und Kunden zur Verfügung zu stellen.
Forschungs-, MPW- & Prototyping-Service
Bereits seit über 20 Jahren ist die technologische Kompetenz in Verbindung mit Neugier für neuartige Entwicklungen die Basis für einen kontinuierlichen Fortschritt in der Technologieabteilung des IHP, wo etwa die Hälfte der Institutsmitarbeitenden beschäftigt ist, inklusive den im Rund-um-die-Uhr-Schichtbetrieb im Reinraum tätigen.
Technische Kompetenzen
Das IHP besitzt alle Voraussetzungen zur Entwicklung und Herstellung modernster BiCMOS-Technologien:
- SiGe:C-HBTs und Photonik-Module (z. B. Ge-PD) und deren Integration in CMOS-Technologien
- modulare Erweiterung von Standard-CMOS-Technologien
- Erforschung und Entwicklung von Prozessmodulen und -teilschritten
- elektrische und opto-elektrische Messtechnik, einschließlich HF-Tests
- Diagnose- und Analysetechnik für die Entwicklung und Fertigungsüberwachung
- Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Prozessqualifizierung
- Gewährleistung stabiler und zuverlässiger Prozesse im 24/7 betriebenem CMOS-Reinraum
- Forschungs- und Modulservice sowie MPW- und Prototyping-Angebote für interne und externe Kunden
- Design-Kit-Support für interne und externe Projekte
- Transfer von Technologien und Technologiemodulen von und zu Industriepartnern
- Integration von neuen Materialien in Si-Basistechnologien
