Elektrische Charakterisierung auf dem Wafer im Reinraum und im Labor
DC- und CV-Parametertest
- SPC (Statistische Parameter-Kontrolle)
- Zuverlässigkeitstests (von -60°C bis 125°C)
- Ausbeute-Test, Fehleranalyse
- Messung der Interface- und Bulk-Eigenschaften von MOS - Strukturen
- Charakterisierung der elektrostatischen Entladung (ESD)
Methoden:
- DC/CV- und Pulssignal-Techniken unter Verwendung von Einzel- und Mehrfach -Probes, und Probecards
- simultane HF/LF-MOS-CV-Technik im nichtstationären Nichtgleichgewicht zur Untersuchung der Interface- und Bulk-Eigenschaften des MOS-Systems
- Ringoszillator-Messungen zur Bestimmung von Gate-Delays im sub ps-Bereich
- TLP (Transmission Line Pulser) und HBM (Human Body Model) für ESD-Tests
- 1/f-Rauschmessungen im Niederfrequenzbereich
Ausstattung:
- DC-Parametertester (Keithley S630) mit vollautomatischen 8" Waferprobern im Reinraum und Labor
- IHP-proprietärer HF/LF-MOS-CV-Messplatz für Messungen im nichtstationären Nichtgleichgewicht
- DC/CV-Parametertestsysteme (Agilent 4156C, 4294A) mit halbautomatischen 8"- und 12"-Waferprobern
- Kryo-Antastsysteme für DC-, RF- und S-Parametermessungen, 4" Chuck, T bis zu flüssiger He-Temperatur
- 1/f-Rauschmessungen (Proplus 9812DX)
- TLP-, vf-TLP- und HBM-Messungen (HPPI TLP-4010C )
Mixed-Signal-Prototypentest
- Prototypen-Charakterisierung von IHP- und kundenspezifischen Designs, die in der IHP-Pilotlinie gefertigt werden
Methoden:
- Chip Test mit analogen und digitalen Testsignalen
- Bitfehlerraten-Test (BERT) bis zu 32 Gbit/s
Ausstattung:
- PXI-System mit flexibler modularer Messgerätearchitektur, robustes PC-basiertes Hochleistungs-Mixed-Signal-Messsystem
- Agilent BERT-System: Pseudozufallsgenerator für binäre Sequenzen (PRBS)
- 70 GHz Abtastoszilloskop: Agilent Infiniium DCA-X 86100D
- Mustergenerator: Agilent N4951B
- serieller BERT: Agilent N4960A
RF S-Parameter und RF Rauschmessungen
- S-Parameter-Messungen für ultraschnelle HBT-Bauelemente mit fmax > 500 GHz
- RF-Rauschparameter-Charakterisierung
Methoden:
- Zwei-Tor-S-Parameter-Messung
- 110 GHz - 170 GHz (300K - 358K)
- 1 kHz - 120 GHz (300K - 358K)
- 10 MHz - 67 GHz (233K - 398K)
- 10 MHz - 50 GHz (300K - 358K)
- Vier-Tor-S-Parameter-Messung (oder echte differentielle Zwei-Tor-Messung)
- 10 MHz - 50 GHz
- 1 kHz - 120 GHz
Ausstattung:
- Agilent Netzwerk-Analysator: E7350A, E8364A, 8720ES, E8361A
- Keysight Netzwerkanalysator: N5245A, N5291A
- Rohde & Schwarz: ZVA24
- RF-Rauschen: Rauschquelle N4002A @ 2 - 26.5 GHz (Temp. 300 K - 358 K)