2D-EPL

Das Projekt 2D Experimental Pilot Line (2D-EPL) wird ein europäisches Ökosystem für die Prototypenfertigung von Elektronik, Photonik und Sensorik auf Basis von Graphen und verwandten Materialien (GRM) aufbauen. Das Projekt wird die gesamte Wertschöpfungskette abdecken, einschließlich Werkzeugherstellern, Anbietern von Chemikalien, Materialien und Pilotlinien, um Unternehmen, Forschungszentren und Akademikern Prototyping-Services anzubieten. Das 2D-EPL zielt auf die Übernahme der GRM-Integration durch kommerzielle Halbleiter-Foundries und Hersteller integrierter Bauelemente durch Technologietransfer und Lizenzierung. Das Projekt ist auf zwei Säulen aufgebaut. In der ersten Säule wird das 2D-EPL Prototyping-Services für 150- und 200-mm-Wafer anbieten, basierend auf dem aktuellen Stand der Technik bei der Herstellung und Integration von Graphen-Bauelementen. Dies stellt sicher, dass externe Nutzer und Kunden schon früh im Projekt von 2D-EPL bedient werden und garantiert die Einbeziehung ihres Inputs in die Entwicklung der endgültigen Prozesse durch die Bereitstellung der Spezifikationen zu den erforderlichen Bauteillayouts, Materialien und Bauteilleistungen. In Säule 2 wird das Konsortium einen vollautomatischen Prozessablauf auf 200- und 300-mm-Wafern entwickeln, einschließlich des Wachstums und Vakuumtransfers von einkristallinem Graphen und TMDCs. Die in Säule 2 gewonnenen Erkenntnisse werden in Säule 1 übertragen, um den vom 2D-EPL bereitgestellten Basisprozess kontinuierlich zu verbessern. Um die Nachhaltigkeit des 2D-EPL-Service nach der Projektlaufzeit zu gewährleisten, wird die Integration in das EUROPRACTICE-Konsortium vorbereitet. Es bietet den europäischen Akteuren eine Plattform zur Entwicklung intelligenter integrierter Systeme, vom fortgeschrittenen Prototyp-Design bis zur Kleinserienfertigung. Zusätzlich wird für die Effizienz der industriellen Nutzung ein Industrial Advisory Board, das hauptsächlich aus führenden europäischen Halbleiterherstellern und Foundries besteht, den Fortschritt des 2D-EPL genau verfolgen und beraten. Dieser Ansatz wird es europäischen Akteuren ermöglichen, die Führung in diesem aufstrebenden Technologiefeld zu übernehmen.

Förderung

EU Horizon 2020

Projektpartner

  • Chalmers Tekniska Hoegskola AB, Schweden
  • Aixtron Limited, Großbritannien
  • Amo GmbH, Deutschland
  • VTT Oy, Finnland
  • Imec, Belgien
  • Graphenea Semiconductor SL, Spanien
  • Oxford Instruments, Großbritannien
  • Micro Resist Technology, Deutschland
  • Süss Microtec Lithography GmbH, Deutschland
  • Aixtron SE, Deutschland

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