Materialanalyse & Metrologie

Die Forschungsgruppe Off-Line Characterization unterstützt die Forschungstätigkeit des IHP durch ein breites Spektrum an Untersuchungsmethoden und Analysegeräten.

Forschungsziele

Unsere Analysemethoden erstrecken sich auf folgende Anwendungsgebiete:

  • Visualisierung der Oberflächen- und Querschnittsmorphologie integrierter Schaltkreise
  • Verunreinigungsanalyse von Si-Wafern (Quantifizierung und Mapping)
  • Tiefenprofilanalyse von Dotierungen (Quantifizierung und grafische Profildarstellung)
  • Bestimmung von Schichtdicken und Stöchiometrien an dünnen Filmen
  • Analyse von Kristallstruktur und Verspannungen in Epitaxieschichten
  • Oberflächenanalyse auf organische Verunreinigungen
  • Fehleranalyse an integrierten Schaltkreisen
  • Schaltkreismodifikationen

Forschungsschwerpunkte

  • physikalische​ und chemische Materialanalyse
  • Charakterisierung und Diagnostik

Eine genaue analytische Charakterisierung der im IHP entworfenen und hergestellten integrierten Schaltkreise ist Voraussetzung für deren hohe Leistungsfähigkeit. Wir entwickeln an BiCMOS- und Photonik-Technologien angepasste Analysekonzepte. Aussagefähige Schaltkreischarakterisierungen umfassen u. a. hochaufgelöste Abbildungen, Tiefenprofildarstellungen und Elementverteilungsanalysen. Ebenso ist die Fehleranalyse ein wichtiger Bestandteil unserer Arbeit. Layout-Modifikationen an integrierten Schaltkreisen unterstützen Iterationszyklen während der Testphase von Prototypen und die Maskenanpassung.

Forschungsergebnisse

Dr. Ioan Costina

IHP
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
Deutschland

Telefon: +49 335 5625 370
E-Mail senden »

Die Arbeitsgruppe Off-Line Characterization stellt eine zuverlässige Basis zur Unterstützung von Technologieentwicklung und Forschung im IHP dar, gewährleistet durch:

  • qualitativ hochwertige Charakterisierung von Si-Wafern und Integrierten Schaltkreisen
  • Beitrag zur Stabilisierung und Weiterentwicklung des IC-Herstellungsprozesses
  • Ursachenbeseitigung bei Ausbeuteproblemen mittels Fehleranalyse und Schaltkreismodifikation
  • Analyseergebnisse in der Einarbeitungsphase neuer Anlagen und bei der Anpassung technologischer Rezepte

Die Arbeitsgruppe Off-Line Characterization stellt eine zuverlässige Basis zur Unterstützung von Technologieentwicklung und Forschung im IHP dar, gewährleistet durch:

  • qualitativ hochwertige Charakterisierung von Si-Wafern und Integrierten Schaltkreisen
  • Beitrag zur Stabilisierung und Weiterentwicklung des IC-Herstellungsprozesses
  • Ursachenbeseitigung bei Ausbeuteproblemen mittels Fehleranalyse und Schaltkreismodifikation
  • Analyseergebnisse in der Einarbeitungsphase neuer Anlagen und bei der Anpassung technologischer Rezepte

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