Hybride Photonik & Dünnschichttechnologien

Das Joint Lab "Photonische Bauelemente & Dünnschichttechnologien" zwischen der Technischen Hochschule Wildau und dem Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik wurde im Jahre 2006 gegründet. Seit 2016 erfolgte die thematische Fokussierung auf die Realisierung hybrider Photonikmodule. 

Im Zentrum der jahrelangen und erfolgreichen Zusammenarbeit steht die gemeinsame Ausbildung von wissenschaftlichem Nachwuchs. 

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    Der Forschungsschwerpunkt des Joint Labs ist die Entwicklung von:  

    • graphenbasierten Bauelemente und Technologien
    • hybriden photonischen Bauelemente, Module und Technologien

    Der Fokus der Forschung liegt auf der Entwicklung von Bauelementen und Modulen, die für die Realisierung hybrider Photonik-Technologien genutzt werden können. Diese können insbesondere Anwendungen im Bereich der Sensorik und Medizintechnik adressieren. Im Rahmen der More-than-Moore-Bauelemente- und Technologieentwicklungen des IHP, erforscht und entwickelt das Joint Lab außerdem neue diagnostische Verfahren für die entwickelten Module.

    Das Joint Lab IHP/TH Wildau setzt die jahrelange und erfolgreiche Zusammenarbeit innerhalb der Kooperation mit dem IHP erfolgreich fort. Die akademische Lehre und Forschung wird weiter vertieft. Bei gemeinsamen Netzwerkaktivitäten und öffentlichen Auftritten, wie der Wildauer Wissenschaftswoche und Messeauftritte, z. B. der „Sensor & Test“ und dem Mikrosystemtechnik-Kongress (MST), werden die Ergebnisse publikumswirksam präsentiert. Besonderer Schwerpunkt neben der Forschung ist die gemeinsame Ausbildung des wissenschaftlichen und ingenieurstechnischen Nachwuchses. Lehrveranstaltungen, Laborpraktika und Studentenexkursionen werden jährlich für Studierende der TH Wildau aus den Bachelor- und Masterstudiengängen durchgeführt. Zahlreiche Abschlussarbeiten für Bachelor- und Masterstudenten sind erfolgreiches Zeugnis der langjährigen Kooperation. Ein besonderer Höhepunkt war die 2018 durchgeführte internationale Sommerschule, die durch die langjährige Kooperation der TH Wildau mit der Uni-Rom TorVergata und gemeinsam mit dem IHP veranstaltet wurde. Gemeinsame duale Studiengänge komplementieren das Ausbildungsportfolio des Joint Labs zwischen der TH Wildau und dem IHP.  

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    BioPIC

    Angewandte Grundlagenforschung auf dem Gebiet der photonischen Sensoren soll Rettungskräften schnelle Herzinfarktdiagnosen ermöglichen.

    HOPBIT

    GETiT

    Graphen Exfoliation – Technologieentwicklung eines industrienahen 2D-​Transferprozesses

    DoGeALD

    Das DFG-Projekt DoGeALD befasst sich mit der Untersuchung von Dünnschichtdotierungen, die mittels ALD und Blitzlampenausheilungen in strukturierten Germanium-Strukturen realisiert wurden und für zukünftige elektronische und photonische 3D-Bauelemente genutzt werden können. Das IHP konzentriert sich auf die Herstellung von Teststrukturen und die Materialcharakterisierung.

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    1. Silicon-on-Insulator Slot Waveguides: Theory and Applications in Electro-Optics and Optical Sensing; P. Steglich; Emerging Waveguide Technology, 1st Edition, Editor: K.Y. You, Chapter 10. Silicon-on-Insulator Slot Waveguides: Theory and Applications in Electro-Optics and Optical Sensing, IntechOpen, 187 (2018).

    2. Silicon-Organic Hybrid Photonics: Integration of Electro-Optical Polymers in a Photonic Integrated Circuit Technology;P. Steglich, Ch. Mai, C. Villringer, B. Dietzel, S. Schrader, A. Mai; ECS Transactions 92(4), 187 (2019)

    3. C. Mai, P. Steglich, M. Fraschke and A. Mai; "Back-Side Release of Slot Waveguides for the Integration of Functional Materials in a Silicon Photonic Technology With a Full BEOL," in IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology, vol. 10, no. 9, pp. 1569-1574, Sept. 2020, doi: 10.1109/TCPMT.2020.3011149.

    4. Photonic Thermal Sensor Integration Towards Electronic-Photonic-IC Technologies; A. Mai, S. Bondarenko, Ch. Mai, P. Steglich; Proc. 49th European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC 2019), 254 (2019).

    5. Diagnostic of Graphene on 200 mm Ge(100)/Si(100) Wafers by Spectroscopic Ellipsometry; O. Fursenko, M. Lukosius, J. Bauer, C. Villringer, M. Fraschke, M. Lisker, A. Mai; Proc. 8th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE 2019).

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    Weitere Informationen

    • Bachelorstudiengang Physikalische Technologien/Energiesysteme | TH Wildau
    • Masterstudiengang Photonik | TH Wildau
    • Arbeitsgruppe Photonik, Laser- und Plasmatechnologien
    • Forschungsprojekt Hopbit
    • Duales Studium BSc. „Mikroelektronik & PTE”
    • Duales Studium BSc. „Mechatronik & Maschinenbau”

Prof. Dr. rer. nat. Andreas Mai

IHP
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)
Deutschland

Sekretariat:
Monika Schultze
Telefon: +49 335 5625 660
Fax: +49 335 5625 327
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Katja Albani
Telefon: +49 335 5625 670
Fax: +49 335 5625 327
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